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    可調諧三角形金屬納米粒子陣列結構的制作方法

    819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:09
    一種可調諧三角形金屬納米粒子陣列結構的制作方法,步驟:(1)根據透射波長的需要選擇合適型號的基底,對基底進行清洗、親水化處理;(2)在基底表面均勻的自組裝一層納米球;(3)采用反應離子刻蝕機RIE工藝對制作的納米球自組裝層進行刻蝕,改變納米球的間隙的尺寸大小;(4)利用刻蝕后的納米球自組裝作為模具,在球與球之間的間隙處填充金屬;(5)通過Lift?off工藝去除納米球自組裝層,得到陣列化的金屬納米結構芯片。本發明制作的金屬納米結構芯片的光學性質可控,可應用于局域表面等離子體共振(LSPR)傳感、表面增強拉曼光譜(SERS)探測領域,實現生物、化學分子的快速檢測。
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    “可調諧三角形金屬納米粒子陣列結構的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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