本發明公開了一種固態參比電極及其壓頭裝置和制備方法,其中,第一涂層、第一導電層、硅晶片、第二導電層和信號傳輸結構;沿所述第一涂層至所述第二導電層的垂直方向上,所述第一涂層、所述第一導電層、所述硅晶片和所述第二導電層依次層疊;所述信號傳輸結構焊接在所述第二導電層上,所述第一涂層位于所述第一導電層背離所述硅晶片的一側表面,本發明實施例提出的固態參比電極方便保存和維護,其電壓穩定性高,可適用于精密的電化學檢測,電極體積小,可以適用于測序儀相關的微小結構中。
聲明:
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