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    砷化鎵晶片及其制備方法

    1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:10
    本發明涉及一種砷化鎵晶片，所述晶片表面的硫含量低于2×1015原子/cm3，優選低于5×1014原子/cm3，所述晶片表面的硫含量通過本發明說明書實施例中第III部分定義的檢測方法進行測定。本發明還涉及所述砷化鎵晶片的制備方法，包括以下步驟：1)使用酸或堿溶液對晶片表面進行浸泡清洗；2)對晶片進行化學機械拋光；3)拋光后，使用氧化劑對晶片表面進行氧化；4)對晶片經過堿溶液處理，隨后用去離子水清洗；5)對晶片經過SC?1溶液處理，隨后用去離子水清洗；6)干燥所得晶片；7)再次使用氧化劑對晶片表面進行處理；8)氮氣或真空包裝。
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    聲明：
    “砷化鎵晶片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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