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    單晶硅制備中排放氬氣的回收方法與裝置

    1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:13
    本發明公開了一種單晶硅制備工藝中排放氬氣尾氣的凈化回收方法，其主要包括以下：1)凈化流程；2)再生流程；3)降溫流程和4)置換流程。本發明還公開了對應的氬氣回收裝置及其工藝。該裝置包含有：化學鏈燃燒反應器(7)，換熱器(5)，吸附劑反應器(20)，循環水降溫裝置(16)和(21)，壓縮機(2)，循環風機(27)，空氣冷干機(14)，氧分析儀(29)，保溫套(8)和(8’)，輔助加熱裝置(6)以及相應的控制閥門。目前的裝置具有工藝流程簡單，能耗低，氬氣回收率高的優點。
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    “單晶硅制備中排放氬氣的回收方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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