本發明提供一種基于納米裂紋的納流控芯片及其加工方法。本發明由聚二甲基硅氧烷通道層玻璃基底鍵合而成,聚二甲基硅氧烷通道層含有微米通道和至少一條納米通道,納米通道與微米通道相連,微米通道末端通過儲液槽與外界連接,所述儲液槽用于納米流控芯片樣品的加入和提取。本發明加工方法簡單,可實現單根納米通道或者多根納米通道陣列的高效快速加工,且納米通道的長度、位置、尺寸精確可控。解決了采用傳統半導體加工工藝耗時長,成本高,操作復雜等問題。所加工的微納流控芯片可用于基于納流控技術的生物傳感、化學分析、微納能源收集等領域。
聲明:
“基于納米裂紋的納流控芯片及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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