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    判定方法及處理方法

    771   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:01:28
    根據實施方式，本申請提供一種判定方法。判定方法對在使包含硅及鹵素的物質反應或者使包含硅的物質與包含鹵素的物質反應的工序中產生的副產物的處理的進行判定。副產物的處理包括使包含水的處理液與副產物接觸而得到第一固形物。判定方法包括基于關于第一固形物的Si?α鍵(α為選自由F、Cl、Br及I構成的組中的至少1種)及Si?H鍵中的至少一者的利用化學分析的信號來判定副產物的處理的進行。
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    聲明：
    “判定方法及處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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