工作原理
RE2100基于X射線穿透與衰減原理實現無損檢測:
X射線發射:設備搭載微焦點X射線管,發射高能量、高分辨率的X射線束,穿透被測物體。
圖像采集:射線穿透物體后,由數字平板探測器接收衰減信號,轉換為數字圖像。
AI智能識別:內置深度學習算法對圖像進行增強、濾波與缺陷識別,自動標記氣孔、裂紋、虛焊等缺陷位置與尺寸,支持缺陷分類與統計分析。
三維成像:支持CT掃描重建功能,通過高精度旋轉平臺生成器件內部三維立體圖像,實現缺陷精準定位。
應用范圍
半導體制造:檢測晶圓通孔、封裝器件內部結構及焊接缺陷,確保芯片可靠性。
電子元器件:分析BGA焊球、QFN封裝等工藝缺陷,驗證2.5D/3D封裝互連結構完整性。
電池檢測:識別鋰電池極片內部裂紋、夾雜物,優化電池安全性能。
精密制造:監測PCB板虛焊、SMT貼片氣泡及連接器缺陷,提升產品合格率。
汽車電子:檢測汽車電子控制器、傳感器等部件內部結構,保障行車安全。
產品技術參數
X射線源:電壓80-160kV可調,功率15W,微焦點尺寸5μm,穿透鋁材70-100mm。
成像系統:數字平板探測器,分辨率2048×2048,像素尺寸125μm,幀率30FPS,支持40Lp/cm空間分辨率。
檢測能力:最小可識別缺陷0.5μm,支持2D/3D成像及CT掃描重建。
載物平臺:XYZ三軸電動控制,Z軸行程450mm,支持多角度動態拍攝與十字光標精準定位。
安全防護:輻射泄漏劑量<1μSv/h,配備鉛玻璃、聯鎖裝置與劑量監控,符合CE/FDA標準。
設備尺寸:800×700×1700mm3,重量1000kg,電源要求AC220V±10%,50/60Hz,功耗≤3kW。
產品特點
高精度成像:5μm焦點尺寸,清晰顯示微米級缺陷,滿足半導體行業嚴苛標準。
AI智能分析:內置深度學習算法,自動識別21類缺陷,誤判率<1%,支持缺陷統計分析。
自動化操作:XYZ三軸協同,Z軸物理放大倍率可調,操作臺支持坐/站立多角度調節。
安全防護設計:五重輻射防護機制,通過國際安全認證,確保操作人員健康。
模塊化擴展性:光源與探測器可快速更換,支持MES系統對接與AOI自動分揀模塊擴展。
多功能成像模式:支持多能量融合拍攝、大面積產品圖片拼接及三維斷層掃描(CT重建)。
高效檢測效率:300mm晶圓檢測周期≤3分鐘/片,適合大規模生產線集成。