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    P型透明導電氧化物CuAlO2薄膜的制備方法

    1122   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:01:30
    本發明涉及一種P型透明導電氧化物CuAlO2薄膜的制備方法。該方法的步驟為：將化學純的Cu2O粉和分析純的Al(OH)3粉經500～550℃預燒1～1.5h，在1050～1150℃保溫8～12h，生成純相的CuAlO2粉末，將CuAlO2粉末壓制成型后，經1050～1150℃燒結4～10h，制成CuAlO2陶瓷靶材；采用上述制成的CuAlO2陶瓷靶材，利用磁控濺射方法，以Si(100)單晶或石英為襯底，襯底溫度300～600℃，以高純氬氣與氧氣組成的混合氣體為工作氣體，工作氣壓0.8～1.0Pa，氧分壓10～40％，濺射功率100～200W，薄膜沉積后，于900～1100℃經氮氣氣氛保護，在管式爐內退火2～5h，制成P型CuAlO2薄膜。其厚度為100～500nm。本發明方法薄膜沉積面積大，生產成本低，且適于工業化生產。
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    化學分析
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