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    真空紫外燈結構及其制備方法、光離子化傳感器

    1099   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:04:05
    本發明涉及光離子化氣體檢測技術領域,尤其涉及一種真空紫外燈結構及其制備方法、光離子化傳感器,真空紫外燈玻璃外殼的一端開口處設有真空紫外窗,真空紫外燈玻璃外殼內部形成一封閉的腔室,腔室內填充有工作氣體;真空紫外窗的表面上固定設有第一接觸件、第二接觸件以及收集電極結構,收集電極結構包括至少兩組相互絕緣的電極結構,第一接觸件和第二接觸件分別與兩組電極結構電連接。本發明的有益效果是:本發明將離子化腔、收集電極結構、真空紫外燈玻璃外殼結合為一個整體,實現了原位對化學氣體的離子化與收集,極大地簡化了光離子化傳感器的光離子化和離子收集結構,降低了離子化腔的零件結構數量和復雜度。
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