• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 化學分析技術

    > 低電容ESD芯片制造工藝

    低電容ESD芯片制造工藝

    764   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:04:30
    本發明屬于ESD芯片制造領域,尤其是一種低電容ESD芯片制造工藝,針對現有的ESD芯片漏電流高,電容值高問題,現提出如下方案,其包括以下步驟:S1、擴散前處理:采用N型外延襯底,通過酸、SC3#配方清洗工序,對硅片表面進行化學處理;S2、零層光刻,初氧;S3、基區光刻:正膠工藝刻出基區;S4、基區補硼;S5、硼氧化:生成薄氧;S6、正面接觸區光刻,正面蒸鋁,正面金屬光刻;S7、真空合金,中檢;S8、正面貼膜保護,背面磨片,背面蒸鈦鎳銀錫;S9、測試,本發明漏電流低,電容值低。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “低電容ESD芯片制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    化學分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>