本申請公開了石墨烯應變傳感器及石墨烯應變傳感器的制備方法,該石墨烯應變傳感器中的導電層包括由兩個或者兩個以上多層石墨烯單元形成的堆疊結構。該石墨烯應變傳感器中的多層石墨烯單元通過常壓化學氣相沉積法制備,并利用蝕刻液除去多層石墨烯單元的生長襯底,得到自支撐多層石墨烯單元;將自支撐多層石墨烯單元轉移至另一搭載有多層石墨烯單元的生長襯底,如此循環,可以得到兩個或兩個以上多層石墨烯單元形成的堆疊結構,作為石墨烯應變傳感器的導電層。本申請提供的石墨烯應變傳感器既具有較寬的檢測范圍,又具有較高的靈敏度。
聲明:
“石墨烯應變傳感器及石墨烯應變傳感器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)