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    具有等離子體共振散射響應的納米孔芯片的制備方法

    946   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:08:39
    本發明具有等離子體共振散射響應的納米孔芯片的制備方法，其步驟包括：⑴芯片基材的選擇，選擇硅片為基材，在硅片正面沉積絕緣材料，反面沒有絕緣材料；⑵利用濕法刻蝕法在硅片反面刻蝕正方形區域，直到納米孔芯片薄膜在這一面裸露；⑶納米孔刻蝕，利用聚焦離子束或聚焦電子束轟擊納米孔芯片薄膜，在納米孔芯片薄膜上形成納米小孔；⑷貴金屬修飾，利用磁控濺射儀使納米孔芯片薄膜表面鍍上一層貴金屬層。本發明的制備方法步驟簡單，尺寸可控，成本較低；通過在納米孔上的貴金屬修飾，制備了一種同時具有光電響應納米孔芯片，該納米孔芯片能發生等離子體共振耦合現象，從而對光譜信號產生放大作用，可用于納米孔電化學檢測的較多領域。
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