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    > 拋光墊

    拋光墊

    1132   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:11:49
    本發明提供一種拋光墊。該拋光墊包含有一第一層,一第二層,一孔洞及一插塞。該孔洞形成于該拋光墊中,并包含有一位于該拋光墊的該第一層中的第一部分及一位于該拋光墊的該第二層中的第二部分。該插塞置于該孔洞中,且具有一上部及一下部。該上部置于該孔洞的該第一部分中,而該下部置于該孔洞的該第二部分中。由于該插塞與拋光墊等高,因此可以避免水滴殘留等問題,而準確地檢測出化學機械拋光工藝的終點。
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    聲明：
    “拋光墊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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