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    具有三維微結構的熱電換能器、制造該換能器的方法和該換能器的應用

    737   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:11:51
    本發明涉及一種用于利用至少一個熱元件來相互轉換熱能和電能的熱電換能器。所述換能器具有至少一個由具有不同微柱材料的微柱組成的三維微結構。微柱材料具有不同的塞貝克系數（熱電動勢）。相互平行布置的微柱的微柱直徑從0.1μm至200μm的范圍中選擇。這些微柱分別具有處于20至1000的范圍中的縱橫比。此外，這些微柱作為熱電偶相互耦合以構造熱電壓。為了制造所述微結構如下進行：a)提供具有模板材料的模板，其中模板具有基本上與熱電換能器的微結構相反的三維模板結構，所述模板結構包括柱狀的模板空腔，b)將微柱材料布置在柱狀空腔中，使得形成微柱，以及c)至少部分地去除模板材料。作為模板優選采用硅晶片。為了提供模板采用PAECE（光輔助電化學蝕刻）方法。利用本發明可以實現針對熱輻射的高靈敏的檢測器。
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