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    用于薄膜沉積的直接液體注射系統

    831   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:11:53
    提供一種用于將化學前驅物直接液體注射(DLI)到處理腔室中的方法和設備。DLI系統包括液體前驅物源汽化系統，所述系統穩定并且有效地使液體汽化。在一個實施方式中，DLI系統是閉環集成系統，所述閉環集成系統將注射閥(IV)連同液體流量計(LFM)、作為加壓前驅物源的安瓿組件、用于加壓安瓿組件中的前驅物的惰性推進氣體、用于維持目標溫度狀況的溫度控制器、泄漏檢測和到氣體加熱器的受控載氣流量進行組合。
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