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    帶光路的勻膠機

    1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:13:35
    本實用新型提出一種帶光路的勻膠機，包括勻膠機本體，勻膠機本體包括第一機座、第二機和涂膜工作基座，第二機座內部設有光路氣路多用途旋轉機構，第一機座的內腔頂部設有光源組件，涂膜工作基座內部的工作腔底部設有排氣管。本實用新型可在旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜的動態變化，用于跟蹤溶劑揮發、溶劑退火、熱退火過程中的材料相變，并在化學反應動力學、生化過程的跟蹤檢測方面具有優勢，排氣泵機通過多條對稱設置的導氣管使得排氣管進行抽氣工作，而由于排氣管座頂部開設有呈圓環形的排氣槽口，且排氣管與涂膜工作基座的工作腔呈同軸度設置，排氣過程中，排氣均勻，不產生氣流紊亂，保證基片上涂膜的精度。
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    “帶光路的勻膠機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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