一種新型多晶硅碳頭料的物理分離方法,本發明涉及多晶硅的生產中多晶硅碳頭料石墨部分與高純硅的分離的物理方法。該方法包括多晶硅碳頭料的破碎前處理、噴砂分離碳頭料、分離后碳頭料的DI水漂洗、DI水漂洗后碳頭料的DI超聲波水漂洗、DI超聲波水漂洗后碳頭料的化學清洗、分離得到碳頭料的檢查包裝七個步驟。該方法的特點是:利用噴砂裝置射出的高速磨料4直接作用于碳頭料石墨部位5將石墨(石墨紙)5與高純多晶2硅剝離;采用磨料4硬度與多晶硅5硬度相當,并選擇合適的磨料粒度將處理過程中的損耗降至最低。相較原有化學腐蝕分離碳頭料的方法,噴砂法安全可靠,不易燃不易爆;噴砂法一次即可將石墨完全剝離,有效節省人力物力;噴砂機磨料可重復使用,節約環保。
聲明:
“新型多晶硅碳頭料的物理分離方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)