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    銅互連電鍍添加劑的評價方法

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:13:36
    本發明涉及一種銅互連電鍍添加劑的評價方法，包括如下步驟：步驟（1）將一種具有表面形貌特征的金屬電極作為工作電極測定電化學曲線；步驟（2）將一種平面的金屬電極作為工作電極測定電化學曲線；步驟（3）通過步驟（1）和（2）測量電化學曲線過程中還原銅的電量，確定具有表面形貌特征的金屬電極的有效表面積；利用具有表面形貌特征的金屬電極和所述添加劑測定電化學曲線；步驟（4）利用平面的金屬電極和所述添加劑測定電化學曲線；比較步驟（3）與（4）中電化學曲線測定的銅的電沉積速率，獲得添加劑的作用效果。本發明能有效評價添加劑在孔底和孔口的作用效果，對銅互連溝道及通孔的填充具有指導作用，可促進電鍍銅填充孔的工藝研發。
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