本發明屬于微型生物傳感器,一種硅基可集成微型葡萄糖傳感器的制作方法?,F有的葡萄糖傳感器以葡萄糖氧化酶電極作為分子識別及信號轉換的器件,穩定性差,限制了以酶為基礎的葡萄糖傳感器的應用。本發明以P-型單面拋光硅片電化學刻蝕制作硅微通道;在溫度80攝氏度的無電電鍍溶液中,沉積30-45分鐘;取出硅微通道用去離子水沖洗制得。本發明的優點是:采用電化學制程,成本低,操作簡單;微通道孔度均勻,比表面積和深寬比大;無電鍍鍍液配制簡單,價格低廉;對葡萄糖的測試不產生影響;三維結構有利于促進葡萄糖與活性物質接觸,提高氧化電流;有利于離子的交換反應;器件微型化、集成化,有利于規?;a。
聲明:
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