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    用于制備超級電容器RuO2電極材料的電沉積工藝

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:14:38
    一種用于制備超級電容器RuO2電極材料的直流-示差脈沖組合電沉積技術， 采用純度大于99.95％的金屬鉭箔作為基片，配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合 溶液，濃度分別為1～5mmol/L、0.2～1mmol/L和10～200mmol/L，經充分攪拌、 靜置。以石墨做陽極，金屬鉭片為陰極，先用1～3mA/cm2直流電流沉積0.5～1h， 再采用示差脈沖電流沉積沉積2～3h，電壓脈沖寬度為1～10sec，脈沖周期為2～ 20sec，振幅為0.01～0.02mA/cm2，每點電壓增益為0.005～0.01mA/cm2，其終止電 流密度為5～8mA/cm2。制備RuCl3·3H2O薄膜前驅體，薄膜自然涼干后經過200～ 500℃處理，升溫速率為10℃/s，保溫時間為2-3h。本發明首次提出采用直流- 示差脈沖組合電沉積技術制備RuO2薄膜，工藝簡單，操作簡便，具有一定的工業 價值。用CHI660C電化學測試儀對薄膜材料的電化學性能進行測試，附著力的測 試采用GB5210-82拉開法，測定比電容達720F/g，附著力達11.3MPa。
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