• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 可避免反應液污染晶圓的方法

    可避免反應液污染晶圓的方法

    1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:14:38
    本發明提供了一種可避免反應液污染晶圓的方法,反應液通過供液管道供應至化學氣相沉積設備的反應腔,該供液管道上依次設置有供液氣動調節閥和用于霧化反應液的霧化裝置,該霧化裝置通過與其相連的供氣管道供應的清洗氣體清洗,該供氣管道上具有用于控制清洗氣體進入霧化裝置的清洗氣動調節閥,當正常清洗該霧化裝置時,該反應腔處于正常清洗壓力范圍內?，F有技術在清洗霧化裝置時沒偵測反應腔壓力,易在清洗異常時出現反應液在霧化裝置中冷凝且滯留時間過久而產生污染晶圓的雜質的現象。本發明在開啟清洗氣動調節閥清洗霧化裝置時,偵測該反應腔內壓力是否在正常清洗壓力范圍內且在否時發出報警。本發明可避免反應液在霧化裝置中產生污染晶圓的雜質。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “可避免反應液污染晶圓的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：具有鎢/氮化鋁的穩定高溫傳感器/加熱器系統和方法
    下一個：用于有機化合物的絕對定量方法

    與 “可避免反應液污染晶圓的方法” 相關技術

    ? 礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
    ? 從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
    ? 鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
    ? 硫氧混合型金礦的選別方法
    ? 提升高磷銅合金帶材導電率的方法
    ? 用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
    ? 銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
    ? 銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
    ? 高強度銅合金帶材及其生產工藝
    ? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

    相關化學分析設備推薦

    液壓試驗機
    拉力儀
    鐵離子在線分析儀
    便攜式土壤水分速測儀
    便攜式表面洛氏硬度計管材專用型
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
    ?從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
    ?鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
    ?硫氧混合型金礦的選別方法
    ?提升高磷銅合金帶材導電率的方法
    ?用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
    ?銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
    ?銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
    ?高強度銅合金帶材及其生產工藝
    ?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:140
    2 取、制樣安全淺析
    下載:132
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:97
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:96
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:93
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:91
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>