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    黑硅材料表面金屬電極的制備方法

    842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:29
    一種黑硅材料表面金屬電極的制備方法，屬于半導體光電子材料與器件技術領域。該方法包括：步驟1：化學鍍前預處理；步驟2：用化學鍍工藝在黑硅材料表面沉積一層過渡層；步驟3：干燥；步驟4：用蒸發或濺射工藝在過渡層上沉積金屬電極層；步驟5：退火；步驟6：光刻形成電極形狀。本發明利用化學鍍的自催化鍍膜原理，在金屬電極與黑硅表面增加了一層化學鍍層作為過渡層，能夠提高金屬電極與黑硅材料表面的結合力，降低接觸電阻；本發明用于基于黑硅材料的硅光電探測器或太陽能電池，能有效提高器件效率及響應速度且制備工藝簡單、成本較低。
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