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    原料供給裝置

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:29
    本實用新型提供一種原料供給裝置,用于給清洗裝置提供原料,其中,該裝置包括一條提供化學品的管路和提供去離子水的管路,這兩條管路共同連接到一條管路中以便將混合原料提供給清洗裝置;該裝置中還包括設置在所述兩條管路上的數字流量器,用于測量流經對應管路的原料流量。所述的兩條管路均分別設有調節鈕,用于調節對應管路的原料流量。所述數字流量器連接一個顯示屏,顯示屏可以設置在原料供給裝置外部,用于顯示數字流量器測量的原料流量。本實用新型通過數字計量器可精確測量原料流量且顯示在顯示屏上。操作員可以精確獲知化學品和去離子水的流量,精確調控流量,不僅能徹底清洗晶片表面,還能最大程度減少原料的用量,有效節約生產成本。
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    “原料供給裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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