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    用于氮化鋁籽晶的加工工藝

    929   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:29
    本發明公開了一種用于氮化鋁籽晶的加工工藝，采用X射線對氮化鋁籽晶進行晶向測定，測量精度高；采用金剛石線進行切割，能夠克服氮化鋁材料由于硬度及脆性較大給切割帶來的困難；采用研磨工藝，可以有效去除切割后氮化鋁材料的表面損傷；采用機械拋光工藝，可以保證氮化鋁材料具有較高的表面質量；采用化學機械拋光工藝，同時通過物理作用與化學作用，可以在機械拋光的基礎上進一步提高氮化鋁籽晶的表面質量；采用有機溶劑進行清洗，可以防止酸堿或離子水對氮化鋁籽晶表面的輕微腐蝕。該加工工藝使制得的氮化鋁籽晶具有優異的翹曲度、總厚度變化及表面粗糙度，完全能夠滿足外延生長的需要，能夠長出尺寸較大、質量較好的氮化鋁晶體。
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    聲明：
    “用于氮化鋁籽晶的加工工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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