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    實現高溫高壓的連續流動型微流控芯片及其制備方法

    986   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:30
    本發明提供一種實現高溫高壓的連續流動型微流控芯片及其制備方法。該微流控芯片包括入口、混合區、加熱區、增壓區和出口；混合區實現反應物的混合，加熱區提供高溫的反應環境，增壓區為加熱區提供高壓環境；加熱區和和增壓區設有測溫傳感電阻。該方法首先通過光刻和DRIE定義微流體通道圖形；然后通過硅-玻璃陽極鍵合制作微流體通道；再采用PECVD淀積SiO2并剝離制作傳感電阻和加熱電阻；最后通過光刻和DRIE制作入口和出口。本發明可高效、安全地實現各類需要在高溫高壓下進行的化學、生物反應。
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