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    用于紅外光電的鉛鹽薄膜結構及其制備方法

    976   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:31
    本發明屬于光電子器件領域，具體涉及一種用于紅外光電的復合結構鉛鹽薄膜及其制備方法?；?、物理氣相沉積法制備的鉛鹽晶粒層、化學法制備的小晶粒鉛鹽；所述鉛鹽晶粒層覆在所述基底上，鉛鹽晶粒之間存在縫隙；所述小晶粒鉛鹽嵌入所述縫隙之中；所述鉛鹽薄膜為硫化鉛或硒化鉛；所述基底為石英襯底或藍寶石襯底或含氧化層硅片；所述制備方法是通過物理氣相沉積法及化學法相結合而制成。本發明提供的復合結構鉛鹽薄膜結構更加致密，均勻性高；退火處理后的復合結構鉛鹽薄膜作為光電探測器噪聲小，比探測率高，制備方法耗時短，工藝簡單。
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