本發明公開了一種具有優異屏蔽性能(光阻性能)以及在黑度和氧化穩定性方面同樣優異的氮氧化鈦。具體而言,公開了一種氮氧化鈦,其具有TiNxOy·nSiO2(其中Ti表示鈦原子;N表示氮原子;O表示氧原子;Si表示硅原子;x表示氮原子與鈦原子的比例,y表示氧原子與鈦原子的比例,x和y分別為大于0且小于2的實數;n表示SiO2與TiNxOy的摩爾比,是0≤n≤0.05的實數)表示的化學組成。所述氮氧化鈦包含以N表示的氮原子的量不小于17重量%但小于23重量%,同時具有的比表面積為5-30m2/g,且通過使用X-射線衍射儀測定的微晶尺寸為17-25nm。
聲明:
“黑色氮氧化鈦” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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