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    集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法

    1146   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:17
    本發明涉及一種集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法,該傳感器的特點是采用隔熱作用的硅膜,硅膜懸在將硅片局部挖空而形成的空腔上,并由腔體壁所支撐,用作加熱器的硅電阻器和熱探測器的Si/Al熱偶堆分別制作在硅膜上。硅膜是采用擴散或離子注入、硅外延、陽極氧化、腐蝕多孔硅、物理或化學氣相淀積絕緣介質等技術制備的。本方法制作的器件,靈敏度高,響應速度快且有利于集成、降低成本和大批量生產。
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