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    碳納米管陣列有機污染物傳感器及用途

    803   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:17
    本發明揭示了一種碳納米管陣列有機污染物傳感器及用途,先利用化學氣相沉積或交流電泳的方法在襯底上制成金屬性和半導體性混合的定向單壁碳納米管陣列;繼而采用過載電流燒毀碳納米管陣列中的金屬性碳納米管并采用金屬納米顆粒修飾所得到的半導體性碳納米管陣列;最后在金屬納米顆粒修飾后的碳納米管陣列表面光刻或金屬膜沉積交叉指電極。該傳感器完全是半導體碳納米管陣列結構,具有實現室溫環境下場效應的性能,能夠提高器件對各種有機分子的識別和選擇性,可用于對室內外或太空中NO、NO2及苯系物有機污染氣體的靈敏探測。
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