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    氧化錫納米顆粒和氧化鋅納米線團聚結構的甲醇氣敏傳感器制備方法

    893   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:18
    本發明涉及一種氧化錫納米顆粒和氧化鋅納米線團聚結構的甲醇氣敏傳感器制備方法,屬于氣體傳感器的氣敏材料的制備領域,本發明通過簡單的化學合成的方式完成ZnO和SnO2復合結構的制備,后通過可控的退火工藝獲得最后產物。該復合結構充分發揮傳統金屬氧化物氣敏材料的優勢,利用ZnO/SnO2異質結調控氣敏性能,降低工作溫度。該技術可靠性高,可重復,具有優異的器件穩定性。獲得氣敏材料后利用高精度絲網印刷機涂刷在陶瓷基底上,然后在敏感層表面蒸鍍金屬電極;最后實現基于該異質結結構的敏感層與金屬電極的接觸,完成甲醇傳感器的制備。本發明制備的甲醇傳感器能夠在200℃溫度下實現高靈敏探測和快速響應的同時,還具有良好的穩定性。
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