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    晶圓級III-VI族化合物薄膜材料、制備方法和應用

    1028   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:18
    本發明屬于可見光通信用光電探測器技術領域，公開了一種晶圓級III?VI族化合物薄膜材料、制備方法和應用，本發明的晶圓級III?VI族化合物薄膜材料包括包括絕緣襯底層，以及絕緣襯底層上依次疊層設置的III?VI族化合物薄膜層和電極層；III?VI族化合物薄膜層的化學式為In2X3，且其通過以下步驟設置于絕緣襯底層上：在絕緣襯底層上蒸鍍一層In金屬層；隨后，采用化學氣相沉積法，以X粉末為前驅體，將In金屬層反應形成In2X3，即獲得III?VI族化合物薄膜層；其中，X為硫族元素。本發明結合了電子束蒸發鍍膜和化學氣相沉積技術、制備了晶圓級III?VI族化合物薄膜材料。本發明的方法簡單，易于操作。
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