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    噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝

    1071   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:19
    本發明公開了一種噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝，具體包括以下步驟：S1：原材：對原材料進行清洗并干燥；S2：涂膠：在材料表面涂裝或者封裝感光類薄膜；S3：光刻：在材料表面光刻出需要砂刻的微流控通道圖形；S4：觀影：經過圖形現影法，露出原材料的表面；S5：噴砂：將材料用治具定位裝夾在噴砂機上進行噴砂；S6：檢驗：對噴砂完成后的材料進行檢驗是否合格。本發明公開的噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝具有安全環保，以砂粒取代劇毒、有毒化學物質，噴射蝕刻取代傳統藥水浸泡蝕刻的方式，更加安全環保，并且成本交底，且具備量產性，在密閉的工作腔內，可快速批量加工出微流控圖形的技術效果。
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    “噴砂砂刻批量生產微流控芯片工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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