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    MEMS氣體傳感器

    1044   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:04
    本公開涉及一種MEMS氣體傳感器(10)，其尤其包括光聲傳感器(10)，光聲傳感器(10)包括熱發射器(16)和聲換能器(17)，熱發射器(16)和聲換能器(17)布置在相互測量腔(18)內。熱發射器(16)包括半導體襯底(11)和由半導體襯底(11)支撐的加熱結構(12)。加熱結構(12)包括加熱元件(13)。MEMS氣體傳感器(10)還包括熱耦合到加熱元件(13)的化學傳感器(14)，化學傳感器(14)包括氣體吸附層(15)。
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    聲明：
    “MEMS氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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