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    采用石蠟外邊框掩膜法制備太陽電池的方法

    1146   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:04
    本發明公開了一種采用石蠟外邊框掩膜法制備太陽電池的方法，包括下述步驟：（1）制絨硅片形成光陷阱表面；（2）在絨面上擴散摻雜形成PN結；（3）在擴散面上打印上起掩蔽作用的石蠟掩膜；（4）在覆蓋掩膜的片子上覆蓋水膜；（5）利用化學液去除硅片周邊和背面多余的PN結；（6）利用化學液對硅片表面進行刻蝕；（7）去除石蠟掩膜；（8）磷硅玻璃的去除；（9）鍍氮化硅膜；（10）印刷背面電極和背場；（11）在石蠟掩膜對應位置處印刷銀電極；（12）燒結，測試電性能。本發明采用上述方法制備太陽電池時，能有效避免水膜覆蓋不良而影響硅片質量的問題，同時還能確保銀電極的印刷位置精確對準，從而提升電池片的轉換效率。
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    “采用石蠟外邊框掩膜法制備太陽電池的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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