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    用于調整半導體設備的噴嘴位置的裝置

    1046   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:06
    本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及一種用于調整半導體設備的噴嘴位置的裝置。包括用于夾持噴嘴的夾具和用于發射激光光束的激光頭，所述激光頭一端為激光發射端，所述激光發射端發出的激光光束與所述噴嘴噴吐方向相同；所述激光頭另一端與所述夾具相連接，所述夾具與所述激光頭同軸設置；所述夾具包括容納所述噴嘴的夾頭和設置在夾頭上用于調整所述噴嘴位置的固定螺絲。本實用新型的裝置為化學品噴嘴的定位提供直觀、準確的參照，在噴嘴噴涂過程中，不再需要通過目測或者在晶圓上進行反復噴涂試驗來驗證噴嘴位置，操作簡單，不僅可以大幅提高工作效率和噴涂質量，而且可以節約化學品成本。
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