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    工藝腔室用控溫裝置及方法、工藝腔室

    1193   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:06
    本發明公開了一種工藝腔室用控溫裝置、控溫方法和工藝腔室。包括第一測溫單元，用于測量測溫窗的當前溫度；第二測溫單元，用于測量硅片的當前溫度；第一溫度控制單元，用于將測溫窗的當前溫度與預設的測溫窗目標溫度進行比較，當兩者不一致時，調整測溫窗的當前溫度，以使得兩者一致。能夠有效避免因測溫窗溫度過低出現的反應氣體在測溫窗內凝結的現象以及因溫度過高出現的反應氣體在測溫窗內發生化學沉積的現象，提高測量硅片的溫度的準確性。
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    化學分析
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