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    具有濃度自調節功能的濕法清洗設備

    1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:28:33
    本實用新型提供一種具有濃度自調節功能的濕法清洗設備，包括：清洗槽、補給管路、濃度監測裝置及控制裝置；清洗槽用于承載清洗液及待清洗件；補給管路一端與清洗槽相連通，另一端與補給源相連接，補給管路上設置有電動閥；濃度監測裝置位于清洗槽內；控制裝置與濃度監測裝置及電動閥相連接，以基于濃度監測裝置的監測結果控制電動閥的通斷，由此向清洗槽內補充所需的化學液，以將清洗槽內的清洗液濃度維持在預設值。本實用新型對清洗槽的清洗液濃度進行實時監測，以將清洗液的濃度維持在預設值，有助于確保清洗質量，提高批次內及批次間的晶圓清洗質量的均勻性；通過有效延長清洗液的清洗壽命，可以有效降低清洗成本，減少清洗液的排放。
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