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    用于制造合成金剛石材料的微波等離子體反應器

    1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:28:33
    一種用于通過化學氣相沉積制造合成金剛石材料的微波等離子體反應器，所述微波等離子體反應器包括：等離子體室；布置于等離子體室中用于支承基底的基底保持器，在使用時合成金剛石材料沉積于所述基底上；用于將微波從微波產生器給送至等離子體室內的微波耦合構造，以及用于將處理氣體給送至等離子體室內并且從等離子體室移除處理氣體的氣體流動系統；其中，氣體流動系統包括氣體入口噴嘴陣列，所述氣體入口噴嘴陣列包括布置成與基底保持器相對的用于指引處理氣體朝向基底保持器的多個氣體入口噴嘴，氣體入口噴嘴陣列包括：布置為相對于等離子體室的中心軸線基本平行或發散定向的至少六個氣體入口噴嘴；氣體入口噴嘴數量密度等于或大于0.1噴嘴數/平方厘米，其中，通過使噴嘴突出至其法線位置平行于等離子體室的中心軸線的平面上并且測量在所述平面上的氣體入口數量密度，來測量氣體入口噴嘴數量密度；以及噴嘴面積比值等于或大于10，其中，通過使噴嘴突出至其法線位置平行于等離子體室的中心軸線的平面上、測量在所述平面上的氣體入口噴嘴區域的總面積、除以噴嘴的總數量以給出與每一個噴嘴相關的面積、以及用與每一個噴嘴相關的面積除以每一個噴嘴的實際面積，來測量噴嘴面積比值。
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