本發明公開了一種用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置,通過熔融NaOH?KOH低共融混合物對氮化鋁晶體進行濕法腐蝕,裝置包括用于盛放熔融NaOH?KOH低共融混合物的坩堝、設于坩堝中的用于放置氮化鋁晶體的隔網、包覆在坩堝側向周部的隔熱套、設于坩堝底部的加熱機構、用于實時測量坩堝中熔融NaOH?KOH低共融混合物溫度的測溫機構。本發明一種用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置,通過使用金屬鎳材料制成的坩堝和隔網,耐腐蝕性高,基本杜絕腐蝕反應以外的其他化學反應,保證了腐蝕的質量,安全性高;通過設置測溫機構,熱電偶浸入熔融NaOH?KOH低共融混合物內部,所測溫度為實時溫度,對腐蝕的溫度參數控制準確。
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