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    生產大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法

    961   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:28:33
    本發明公開了一種生產大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法，該方法采用化學氣相沉積工藝，即向多個燃燒器中通入氫氣和氧氣，氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒進而對沉積爐爐腔進行預熱；預熱完成后，將沉積爐內石英基板的溫度升高至指定溫度，同時啟動溫度探測器使其開始工作；通過每個燃燒器的下料管向沉積爐內通入氣態含硅化合物，氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒產生水蒸汽，該水蒸汽與氣態含硅化合物在沉積爐內反應生成二氧化硅顆粒；二氧化硅顆粒在轉動的石英基板上逐漸沉積形成石英玻璃坨，且所述溫度探測器動態監測二氧化硅顆粒沉積面的溫度分布；本發明通過增加燃燒器及沉積面溫度測試保證沉積面溫度的均勻性，從而保證石英玻璃的結構均勻性。
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    “生產大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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