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    報廢光刻掩膜版的回收處理方法

    856   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:28:35
    本發明公開了一種報廢光刻掩膜版的回收處理方法，包括：將報廢光刻掩膜版表層的鉻金屬層用酸性腐蝕液腐蝕掉，得到膜版基底；用去離子水沖洗膜版基底表面；對膜版基底的雙面表層進行襯底級的CMP化學拋光；將拋光后檢驗合格的膜版基底做鍍鉻前預清洗，先用酸洗，再用去離子水沖洗，然后用堿洗，再用去離子水沖洗，酸堿清洗重復多次；在膜版基底表面鍍一定厚度的鉻層，制作新的光刻掩膜版。通過對報廢膜版基底的優化處理，從而使報廢的膜版得到再次利用，不僅解決了行業資源的浪費，而且還變相的降低了生產成本?？梢源蟠筇岣吖饪贪娴姆磸屠么螖?，工藝簡單，適合大規模批量生產。
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    “報廢光刻掩膜版的回收處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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