本實用新型公開一種研磨墊修整器及研磨裝置,通過在研磨盤上設置有可拆卸連接的信號探測器,當研磨墊修整器在進行修整作業時,扭力傳感器采集信號探測器中的摩擦力探頭與研磨墊接觸時所產生的壓力信號,之后將壓力信號顯示于監測器上,由監測器所顯示波形的狀態即可得知研磨墊的表面的狀況,根據研磨墊的表面的狀況可以獲知研磨墊修整器對研磨墊的修整情況,同時可以根據實際情況選擇更換研磨墊,避免了采用現有技術獲知研磨墊的表面的狀況需要耗費大量的人力物力的問題,提高了進行化學機械研磨時產品的良率。
聲明:
“研磨墊修整器及研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)