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    用于硼擴散工藝的石英爐門及設備

    1088   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:30:14
    本實用新型公開了一種用于硼擴散工藝的石英爐門，包括石英門本體，所述石英門本體的內壁附著有一層在硼擴散高溫條件下化學性能穩定、且熱脹冷縮系數低于所述石英門體材料的熱脹冷縮系數的保護膜；本實用新型中通過在石英門本體內壁上設置高溫條件下穩定性比較強、且熱脹冷縮系數小的保護膜，避免了硼玻璃與石英門本體內壁的直接接觸，緩解了石英門本體內壁由于較大熱脹冷縮現象產生的較大應力，對石英門的損壞，可以提高石英爐門的使用壽命，并且延長石英爐門的維護周期，降低了石英爐門的頻繁檢修損耗、節省人力、物力，相應提高了生產效率和太陽能電池片的生產質量，進而可以大大降低太陽能電池片生產成本。此外，本實用新型還提供了一種包括上述石英爐門的設備。
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