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    基于MEMS技術的金剛石海水鹽度傳感器

    808   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:30:14
    本實用新型公開了一種基于MEMS技術的金剛石海水鹽度傳感器，包括本征金剛石絕緣襯底、摻雜金剛石陣列電極、電極引線和水密絕緣封裝結構，所述摻雜金剛石陣列電極位于本征金剛石絕緣襯底與海水接觸的一側，水密絕緣封裝結構位于本征金剛石絕緣襯底的另一側，電極引線一端穿過水密絕緣封裝結構與摻雜金剛石陣列電極相連，另一端與后端測量電路相連；所述摻雜金剛石陣列電極包括四列探測電極，內部兩列探測電極為信號采集電極，外部兩列探測電極為信號輸入電極，本實用新型所公開的電導率傳感器滿足微型化的要求，化學穩定性高，抗生物附著能力強，穩定工作壽命長。
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    聲明：
    “基于MEMS技術的金剛石海水鹽度傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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