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    基于溫度補償結構的氣體傳感器

    962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:30:15
    本發明公開了一種基于溫度補償結構的氣體傳感器，主要解決現有氣體傳感器溫度分布不均的問題，其包括硅襯底(1)、下絕緣層(2)、溫度補償結構加熱電極(3)、上電極板(9)、下電極板(4)、上絕緣層(5)、覆蓋層(6)、保護層(7)、測試電極(8)、測試極板(10)、加熱平臺(15)、懸臂(16)和氣敏膜(17)，該硅襯底通過腐蝕形成空氣絕熱槽(11)，該覆蓋層中間設有通孔陣列(12)和空氣隔熱層(13)，該下電極板與上電極板之間設有接觸孔(14)，該溫度補償結構加熱電極由自內向外厚度逐漸減小的m圈電極組成。本發明溫度分布均勻、功耗低，可用于化工生產和安全家居領域中對化學氣體的監測。
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    聲明：
    “基于溫度補償結構的氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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