本發明公開了一種高效率太陽能電池的制備方法,該高效率太陽能電池的制備方法包括以下步驟:清洗制絨;三氯氧磷液態源擴散;干法刻蝕;去除PSG,清洗液配制;減反射膜制備-PECVD;絲網印刷,背電極印刷,1號烘箱,背電場印刷,2號烘箱,正電極印刷,燒結,測試分選;組件,電池片分選、單片焊接、串聯焊接、疊層、層壓、裝框、清洗、電性能測試、包裝入庫。本發明通過POCl3液態源擴散方法具有生產效率較高,得到PN結均勻、平整和擴散層表面良好。本發明的工藝成品率較高,產生的缺陷和位錯較少,形成的歐姆接觸,接觸電阻小,具有優良的導電性,純度適當,化學穩定性好。
聲明:
“高效率太陽能電池的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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