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    具有固態發生器的微波等離子體處理容器設備和調節方法

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明涉及在聚合物容器(2)的內壁上用等離子體輔助化學氣相沉積法沉積阻擋薄層的設備(1)及設備調節方法。設備(1)具有：導電腔體(4)；安裝在腔體(4)中的殼體(5)；在殼體(5)中注入前驅氣體的裝置(9)；微波發生器(15)；使微波在殼體(5)中散射的裝置(24)，其連接于發生器(15)以在前驅氣體中激勵等離子體并維持等離子體；特征在于：微波發生器(15)是固態發生器，配有微波發射頻率調節器(22)；其具有傳感器(13)，布置成測量表征容器(2)中產生的等離子體的能量強度的物理量；其具有控制單元(14)，連接于傳感器(13)和微波發生器(15)，控制單元(14)被編程以根據傳感器(13)測得的表征能量強度的物理量的值、通過頻率調節器(22)來調節微波發射頻率。
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