• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓

    用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓

    905   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明公開了一種用于多晶硅層的研磨工藝，包含以下步驟：1)測量晶圓厚度；2)對晶圓的多晶硅層進行化學機械研磨以獲得研磨面；3)對研磨面進行RCA清洗；4)對研磨面進行拋光研磨；5)對研磨面進行CPC清洗；6)再次測量晶圓的厚度。該研磨工藝能夠有效減少多晶硅表面隨機分布的凸起缺陷。本發明同時提供一種使用上述研磨工藝制備的晶圓。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：基于知識聚合與解耦蒸餾的語義分割模型壓縮系統及壓縮方法
    下一個：冷熱電聯供微網系統的能量調度優化方法

    與 “用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓” 相關技術

    ? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ? 高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ? 銅合金帶材的清洗方法
    ? 銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ? 銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ? 防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ? 用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ? 用于鈦合金薄板的矯平方法
    ? 金屬板材加工用鉆孔裝置
    ? 金屬材料韌性檢測儀

    相關化學分析設備推薦

    合金料制樣粉碎機 （振動磨）
    微機控制電子彈簧拉壓萬能試驗機
    臥式試驗機
    M40多氣體檢測儀 MC2-4系列BW四合一氣體檢測儀
    便攜手持式遠距離激光甲烷遙測檢測儀器
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ?高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ?銅合金帶材的清洗方法
    ?銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ?銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ?防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ?用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ?用于鈦合金薄板的矯平方法
    ?金屬板材加工用鉆孔裝置
    ?金屬材料韌性檢測儀

    報名參會
    更多+

    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月05日 ~ 07日
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025年08月10日 ~ 12日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:92
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>