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    硅薄膜異質結太陽電池的制備方法

    785   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    一種用于半導體技術領域的硅薄膜異質結太陽 電池的制備方法，襯底清洗：采用半導體清洗工藝進行襯底的 表面初清洗，再將襯底放在去離子水中用超聲波清洗，用去離 子水沖洗數次，氮氣吹干；制備本征非晶硅層：用熱絲化學汽 相沉積技術制備本征非晶硅層，鎢絲溫度用光學高溫計測量， 加熱器與樣品的溫度分別由兩個熱電偶測定，用電子溫度控制 器控制溫度，在襯底表面反應生長而成薄膜；在本征非晶硅薄 膜上再沉積一層發射層；正、背面電極的形成：用濺射工藝在 電池的正、背面形成電極；最后進行真空熱退火工藝。本發明 薄膜具有光照穩定性，在AM1.5， 100mW/cm2標準光強下，獲得的 硅薄膜的光電導增益可達106， 基于此薄膜的非晶硅和晶硅異質結太陽電池的效率達12.5％。
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