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    用于獲取超高真空的真空系統及方法

    1250   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明涉及超高真空系統，具體是一種用于獲取超高真空的真空系統及方法。本發明解決了現有超高真空系統真空度不夠高的問題。用于獲取超高真空的真空系統，包括真空腔、鈦升華泵、角閥、渦輪分子泵、離子規、充氣閥、氮氣源、濺射離子泵、三通管；其中，真空腔為圓筒形結構；真空腔的頂壁中央開設有一個抽真空接口，該抽真空接口與鈦升華泵連通；真空腔的側壁上部開設有一個抽真空接口，該抽真空接口通過角閥與渦輪分子泵連通；真空腔的側壁上部還開設有一個測量接口，該測量接口與離子規連通；真空腔的側壁中部開設有一個充氣接口，該充氣接口通過充氣閥與氮氣源連通。本發明適用于各種對真空度有較高要求的物理、化學實驗。
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    “用于獲取超高真空的真空系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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